Vakuummåling er en vigtig komponent i vakuumteknologi. Instrumentet, der bruges til at måle vakuumgraden, kaldes en vakuummåler.
De almindeligt anvendte vakuummålere til vakuumovne og vakuumsmelteovne omfatter termoelementvakuummålere, ioniseringsvakuummålere osv. Deres arbejdsprincip er som følger:
(1) Termoelement vakuummåler
Termoelementvakuummåleren består af følsomme komponenter, termoelementmålere og måleinstrumenter. Termoelementmålerøret er forbundet til det testede vakuumsystem med en ydre skal af glasrør og varmeledninger og termoelementledninger inde i røret. På grund af temperaturforskellen mellem den kolde og varme ende af termoelementtråden genereres termoelektrisk potentiale i kredsløbet. Hvis varmetrådens spænding forbliver konstant, er termoelementtrådens potentiale begrænset af varmetrådens temperatur, og varmetrådens temperatur er relateret til trykket af den målte gas. Lavt tryk, lav varmeledningsevne for gas, mindre varme, der føres bort af gassen, højere varmetrådstemperatur og øget termoelektrisk potentiale af termoelementtråden; Tværtimod falder det termoelektriske potentiale. Det termoelektriske potentiale i kredsløbet måles ved hjælp af en millivoltmåler, og millivolten i måleren afspejler niveauet af vakuum. For at sikre varmetrådens spændingsstabilitet blev der tilsluttet en stabil strømforsyning. Så måleinstrumentet består af en millivoltmåler til måling af termoelektrisk potentiale og en reguleret varmetrådsstabiliseret strømforsyning.
(2) Ioniseringsvakuummåler
Denne type vakuummåler bruges hovedsageligt til at måle høje vakuumniveauer. I lavtryks- og stærke gasser er antallet af positive ioner genereret ved ionisering af gasmolekyler direkte proportionalt med gastrykket. Ifølge forskellige metoder til ionisering kaldes en vakuummåler, der bruger en varm katode til at udsende elektroner for at ionisere gassen, en varm katodeioniseringsvakuummåler; Blandt dem består den varme katodeioniseringsvakuummåler af en varmkatodemåler og måleinstrumenter. Måleinstrumentet består af en reguleret arbejdsstrømforsyning, en emissionsstrømstabilisator, en ionstrømsmåleforstærker og andre komponenter. Den varme katode ioniseringsmåler er forbundet til det testede vakuumsystem. En varm katode ioniseringsmåler er en transistor med en katode, gate og kollektor indeni. Saml det polære potentiale i forhold til det katodiske elektronegative potentiale; Porten har et positivt potentiale i forhold til katoden. Når ioniseringsmåleren er elektrificeret og opvarmet, udsender katoden elektroner, som kolliderer med gasmolekyler under processen med at nå porten, hvilket resulterer i ionisering af positive ioner og elektroner. Når emissionsstrømmen er konstant, er antallet af positive ioner pr. dag direkte proportionalt med trykket af den målte gas. Efter at de positive ioner er opsamlet af opsamlingselektroden og forstærket af målekredsløbet, kan vakuumgraden, der skal måles (boksovn), aflæses af den indikerende elmåler.
(3) Komposit vakuummåler
Normalt kan en enkelt vakuummåler ikke bruges til at måle lavt og højt vakuum, men en sammensat vakuummåler bør bruges, hvor ionisering og termoelement kompositvakuummålere er mere almindeligt anvendt. Dens måleområde er 13.33-666.6 × 10-8Pa. Måling af lavt vakuum ved (10-10-10-3) x 133,32 Pa ved hjælp af en termoelement-vakuummåler; Ioniseringsvakuummåler måler et højvakuum på 133,32 × 10-3-666,6 × 10-8Pa. Kompositvakuummåleren er udstyret med en termoelementmåler og en ioniseringsmåler, som er tilsluttet henholdsvis vakuumsystemet. De to målere kan opvarmes separat med en knap og kan vælges til brug.